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4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムホームページの推進事業のページ

http://www.4daigaku.com/suishinjigyou/suishinjigyou.html

4大学ナノ マイクロファブリケーションコンソーシアムは大学 地方自治体 産業界が連携する新しい形の研究教育拠点です。 2012 4 University Nano Micro Fabrication Consortium.

2

4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムホームページのアクセスのページ

http://www.4daigaku.com/access/access.html

4大学ナノ マイクロファブリケーションコンソーシアムは大学 地方自治体 産業界が連携する新しい形の研究教育拠点です。 JR横須賀線 湘南新宿ライン 新川崎駅 より 徒歩約10分. JR南武線 鹿島田駅 より 徒歩約16分. 2012 4 University Nano Micro Fabrication Consortium.

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4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムホームページの設備一覧のページ

http://www.4daigaku.com/setsubiichiran/setsubiichiran.html

4大学ナノ マイクロファブリケーションコンソーシアムは大学 地方自治体 産業界が連携する新しい形の研究教育拠点です。 ドラフトチャンバー 酸 アルカリ 有機各2台. 広範囲に分布が良いスパッタ源を搭載 5%以内 SiO2でΦ170 mm以内. スパッタ源 3 inch 3 4. イオン銃 電子サイクルトロン共鳴 ECR 型. 加速電圧 10 V 3000V連続可変. 成膜速度 4 nm/min Pt. スパッタ用ビームエネルギー 1,000 3,000 eV. スパッタ用ビーム安定度 3 /2 Hour. アシスト用ビームエネルギー 10 200 eV. イオンビーム有効径 Φ20 mm FWHM35 mm. ターゲットサイズ 100 80 mm. 標準装備蒸着チャンバーサイズ Φ300 H300 mm 有効内容積 Φ215 x H270 mm. 利用できるパリレン パリレンN、パリレン C のみ. 製造 ズース マイクロテック 株. スピンコート均一性 1.0%以内 膜厚10 μmにおいて. 試料サイズ 最大Φ100mm t1 mm. 回転数 50 5000 rpm. 回転数 50 5000 rpm.

4

4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムのサイトマップのページ

http://www.4daigaku.com/sitemap.html

4大学ナノ マイクロファブリケーションコンソーシアムは大学 地方自治体 産業界が連携する新しい形の研究教育拠点です。 2012 4 University Nano Micro Fabrication Consortium.

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4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムホームページの拠点概要のページ

http://www.4daigaku.com/soshiki/soshiki.html

4大学ナノ マイクロファブリケーションコンソーシアムは大学 地方自治体 産業界が連携する新しい形の研究教育拠点です。 岸 輝雄 (東大 名誉教授. 青山 藤詞郎 慶應 、山川 宏 早大 、岸本 喜久雄 東工大 、光石 衛 東大. 委員長代理 丸山 茂夫 東大 、顧問 岸 輝雄. 委員 菱田 公一 慶大 、庄子 習一 早大 、北森 武彦 東大. 委員長 菱田 公一 慶大 顧問 岸 輝雄. 幹事 三宅 亮 東大 、三木則尚 慶大. 委員 斎木 敏治 慶大 、尾上 弘晃 慶大 、田口 良広 慶大 、. 庄子習一 早大 、関口哲志 早大 、谷下 一夫 早大 、. 由比藤 勇 早大 、山本 貴富喜 東工大 、村上 陽一 東工大. 赤坂 大樹 東工大 、茂木 克雄 東工大 、丸山 茂夫 東大 、. 鈴木 雄二 東大 、金 範埈 東大 、八井 崇 東大 、. 委員長 庄子 習一 早大. 幹事 谷下 一夫 早大 、三木 則尚 慶大 、庄子 習一 早大 、. 関口 哲志 早大 、山本 貴富喜 東工大 、北森 武彦 東大 、. 2010年3月18日(木),19日(金) ナノ マイクロ多機能デバイス国際シンポジウム.

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4大学ナノ マイクロファブリケーションコンソーシアムは大学 地方自治体 産業界が連携する新しい形の研究教育拠点です。 東京工業大学、東京大学が連携 協力して 新川崎 創造のもり に設立した、新しい形の. 日時 2016年12月19日 月 13:00 17:00. 川崎市幸区新川崎7 1 新川崎 創造のもり地区. 案内パンプ ▶ 4元マグネトロンスパッタ装置実習会案内. 名称 nano tech 2017 第16回 国際ナノテクノロジー総合展 技術会議. 日時 2017年2月15日 水 17日 金 10 00-17 00. 会場 東京ビッグサイト東4 5 6ホール&会議棟. 入場料 3,000円 但し、Webサイトで事前登録された方は入場無料. HP http:/ www.nanotechexpo.jp/main/. MEMS Engineer Forum 2017. 日時 2017年4月26日 水 27日 木. HP http:/ www.m-e-f.info/. 参考 参加団体 東京大学 三宅研究室. 講師 ズース マイクロテック 株 様. 日時 2016年11月16日 水 13:00 17:00.

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