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购买AZO、ITO靶材的注意事项-北京众诚新材科技有限公司
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Bejing ZhongCheng New Material Technology Co.LTD. 版权所有 © 北京众诚新材科技有限公司 地址 北京市海淀区宝盛里宝盛广场 京ICP备16031378号 技术支持 云梦网络.
蒸发源系列-北京众诚新材科技有限公司
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Bejing ZhongCheng New Material Technology Co.LTD. 版权所有 © 北京众诚新材科技有限公司 地址 北京市海淀区宝盛里宝盛广场 京ICP备16031378号 技术支持 云梦网络.
溅射靶材无法起辉原因及解决方案-北京众诚新材科技有限公司
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Bejing ZhongCheng New Material Technology Co.LTD. 2 靶材表面是否干净- - - - - - 金属靶表面氧化或有不清洁物质，打磨清理干净后即可. 3 起辉电源是否正常- - - - - - 检查靶电源. 4 靶与地线之间短路- - - - - 关掉机器，把设备的溅射靶卸下来，靶附近的零件仔细清洗一下 - - - - - 压靶盖旋的过紧，没有和靶材之间留下适当的距离，调整距离即可。 5 永磁靶表面场强是否下降太多 - - - - -如果下降太多，需要更换磁钢。 6 起辉溅射真空度与前次的差别 - - - - -更换不同的靶材，起辉压强不尽相同。 版权所有 © 北京众诚新材科技有限公司 地址 北京市海淀区宝盛里宝盛广场 京ICP备16031378号 技术支持 云梦网络.
金属溅射靶材-北京众诚新材科技有限公司
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Bejing ZhongCheng New Material Technology Co.LTD. 版权所有 © 北京众诚新材科技有限公司 地址 北京市海淀区宝盛里宝盛广场 京ICP备16031378号 技术支持 云梦网络.
电子束蒸发与磁控溅射镀膜的性能分析研究-北京众诚新材科技有限公司
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Bejing ZhongCheng New Material Technology Co.LTD. 电子束蒸发镀Al的典型工艺参数为 真空度 2.6 10-4Pa;蒸发速率 20 25A/s;基片温度 120 C;蒸距 1125px;蒸发时间 25min;电子枪电压 9Kv;电子枪电流 0.2A。 磁控溅射镀Al的典型工艺参数为 本底真空度1.3 10-4Pa以下;溅射速率 8000A/min或者10000A/min基片温度 200 C;靶-基距 125px;阴极电压 420V(在300 600V之间);电流 13A;溅射真空度 0.13 1.3Pa;溅射角 5 8 ;溅射时间 2min/片，具体时间视片数而定。 对于一般的半导体器件，Al层偏薄，则膜的连续性较差，呈岛状或网状结构，引起压焊引线困难，造成不易压焊或压焊不牢，从而影响成品率;Al层过厚，引起光刻时图形看不清，造成腐蚀困难而且易产生边缘腐蚀和 连条 现象。 式中RM- - - - - -反射率. N0- - - - - - 空气的反射率. NM- - - - - - - -Al膜的折射率. 电子束蒸发和磁控溅射制Al膜是半导体器件电极制备生...
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Bejing ZhongCheng New Material Technology Co.LTD. 公司介绍 / About Us. 产品展示 / Product Shows. 版权所有 © 北京众诚新材科技有限公司 地址 北京市海淀区宝盛里宝盛广场 京ICP备16031378号 技术支持 云梦网络.
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