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2011년 1월 2일 일요일. 라는 방법이 있는데 , SF6. 로 적당한 깊이로 에칭을 한후 측면에 C4F8 gas plasma. 로 분자하나 정도의 두께로 코팅을 한다 . 이런식으로 반복하여 원하는 깊이를 얻은후 측벽에 불소 polymer. 를 제거해야 하는데 , O2 gas. 시간 이상 침적을 해서 측벽의 불소를 제거해야 한다 . 이 방법은 높은 불량율과 길게 걸리는 시간으로 새로운 방법을 연구하게 되었는데 ,. 최적의 불소폴리머 제거법을 찾게 되었다 . 성 없이 끓는 HFE-7100. 분정도 담그면 안전하고 완벽하게 측벽의 불소 폴리머가 제거되는 것을 확인 하였다 . 첨부 자료를 참고 하세요 ). 의 특성을 이해 하면 MEMS. 분야에서 상당히 유용하게 사용 할 수 있는 톡특한 불소용액 이다 . 의 특성을 이용해 MEMS. 의 다른분야로 적용을 고려해 본다면 …. 미세가공을 하다보면 깊고 ,. 좁은 형태의 구조가 나오는데 ,. 이런곳은 세정을 하기가 매우 어렵다 . 현상이 생기게 되는데 ,.

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2011년 1월 2일 일요일. 라는 방법이 있는데 , SF6. 로 적당한 깊이로 에칭을 한후 측면에 C4F8 gas plasma. 로 분자하나 정도의 두께로 코팅을 한다 . 이런식으로 반복하여 원하는 깊이를 얻은후 측벽에 불소 polymer. 를 제거해야 하는데 , O2 gas. 시간 이상 침적을 해서 측벽의 불소를 제거해야 한다 . 이 방법은 높은 불량율과 길게 걸리는 시간으로 새로운 방법을 연구하게 되었는데 ,. 최적의 불소폴리머 제거법을 찾게 되었다 . 성 없이 끓는 HFE-7100. 분정도 담그면 안전하고 완벽하게 측벽의 불소 폴리머가 제거되는 것을 확인 하였다 . 첨부 자료를 참고 하세요 ). 의 특성을 이해 하면 MEMS. 분야에서 상당히 유용하게 사용 할 수 있는 톡특한 불소용액 이다 . 의 특성을 이용해 MEMS. 의 다른분야로 적용을 고려해 본다면 …. 미세가공을 하다보면 깊고 ,. 좁은 형태의 구조가 나오는데 ,. 이런곳은 세정을 하기가 매우 어렵다 . 현상이 생기게 되는데 ,.

<META> KEYWORDS

1 fluoro chemicals

2 mems cleaning

3 mems

4 가공중 deep etching

5 이란 bosch process

6 로 태우거나 pirana

7 plasma

8 와 같은 attack

9 가령 di water

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2011년 1월 2일 일요일. 라는 방법이 있는데 , SF6. 로 적당한 깊이로 에칭을 한후 측면에 C4F8 gas plasma. 로 분자하나 정도의 두께로 코팅을 한다 . 이런식으로 반복하여 원하는 깊이를 얻은후 측벽에 불소 polymer. 를 제거해야 하는데 , O2 gas. 시간 이상 침적을 해서 측벽의 불소를 제거해야 한다 . 이 방법은 높은 불량율과 길게 걸리는 시간으로 새로운 방법을 연구하게 되었는데 ,. 최적의 불소폴리머 제거법을 찾게 되었다 . 성 없이 끓는 HFE-7100. 분정도 담그면 안전하고 완벽하게 측벽의 불소 폴리머가 제거되는 것을 확인 하였다 . 첨부 자료를 참고 하세요 ). 의 특성을 이해 하면 MEMS. 분야에서 상당히 유용하게 사용 할 수 있는 톡특한 불소용액 이다 . 의 특성을 이용해 MEMS. 의 다른분야로 적용을 고려해 본다면 …. 미세가공을 하다보면 깊고 ,. 좁은 형태의 구조가 나오는데 ,. 이런곳은 세정을 하기가 매우 어렵다 . 현상이 생기게 되는데 ,.

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Fluoro Chemicals: MEMS Cleaning

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2011년 1월 2일 일요일. 라는 방법이 있는데 , SF6. 로 적당한 깊이로 에칭을 한후 측면에 C4F8 gas plasma. 로 분자하나 정도의 두께로 코팅을 한다 . 이런식으로 반복하여 원하는 깊이를 얻은후 측벽에 불소 polymer. 를 제거해야 하는데 , O2 gas. 시간 이상 침적을 해서 측벽의 불소를 제거해야 한다 . 이 방법은 높은 불량율과 길게 걸리는 시간으로 새로운 방법을 연구하게 되었는데 ,. 최적의 불소폴리머 제거법을 찾게 되었다 . 성 없이 끓는 HFE-7100. 분정도 담그면 안전하고 완벽하게 측벽의 불소 폴리머가 제거되는 것을 확인 하였다 . 첨부 자료를 참고 하세요 ). 의 특성을 이해 하면 MEMS. 분야에서 상당히 유용하게 사용 할 수 있는 톡특한 불소용액 이다 . 의 특성을 이용해 MEMS. 의 다른분야로 적용을 고려해 본다면 …. 미세가공을 하다보면 깊고 ,. 좁은 형태의 구조가 나오는데 ,. 이런곳은 세정을 하기가 매우 어렵다 . 현상이 생기게 되는데 ,.

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Fluoro Chemicals: 1월 2011

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2011년 1월 2일 일요일. 라는 방법이 있는데 , SF6. 로 적당한 깊이로 에칭을 한후 측면에 C4F8 gas plasma. 로 분자하나 정도의 두께로 코팅을 한다 . 이런식으로 반복하여 원하는 깊이를 얻은후 측벽에 불소 polymer. 를 제거해야 하는데 , O2 gas. 시간 이상 침적을 해서 측벽의 불소를 제거해야 한다 . 이 방법은 높은 불량율과 길게 걸리는 시간으로 새로운 방법을 연구하게 되었는데 ,. 최적의 불소폴리머 제거법을 찾게 되었다 . 성 없이 끓는 HFE-7100. 분정도 담그면 안전하고 완벽하게 측벽의 불소 폴리머가 제거되는 것을 확인 하였다 . 첨부 자료를 참고 하세요 ). 의 특성을 이해 하면 MEMS. 분야에서 상당히 유용하게 사용 할 수 있는 톡특한 불소용액 이다 . 의 특성을 이용해 MEMS. 의 다른분야로 적용을 고려해 본다면 …. 미세가공을 하다보면 깊고 ,. 좁은 형태의 구조가 나오는데 ,. 이런곳은 세정을 하기가 매우 어렵다 . 현상이 생기게 되는데 ,.

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Fluoro Chemicals: 중대형용 리튬이온전지의 양극활물질.

http://fluorochemical.blogspot.com/2010/12/blog-post_4096.html

2010년 12월 29일 수요일. 양극활물질은 성능적인면과 가격적인 면에서 리튬이온전지구성에서. 차지하는 비중이 가장크다 . 양극활물질의 종류 크게 4. 가지로 나눌수 있고 ,. 가장 일반적인 활물질은 리튬코발트옥사이드 (LiCoO2). 최근 중대형 전지의 수요가 늘어나면서 안정성과 용량이 큰 양극활물질이 요구 되어지고 있다 . 상업화에 들어간 Layed, Li(Ni,Mn,Co)O. 를 소개 하고자 한다 . Advanced Chemical co.,ltd. 피드 구독하기: 댓글 (Atom). FC-3283, 갈덴용액, 브라인(Brine), Coolant. HFE 증기세정 Vapor Degreaser (프레온, TCE 대체세정). 지열발전 (binary cyclic power generation). 광학용 대전방지제(HQ-115A, PAG). 관통비어홀 측벽Depo 세정(이미지센서의 TSV세정). 건식윤활제, 건성피막윤활제(Dry Lubricants). Chiller의 냉매로 쓰이는 FC-series.

4

Fluoro Chemicals: FC-3283, 갈덴용액, 브라인(Brine), Coolant

http://fluorochemical.blogspot.com/2010/12/fc-3283-brine-coolant.html

2010년 12월 29일 수요일. FC-3283, 갈덴용액, 브라인(Brine), Coolant. 모두 같은물질의 각각 다른 상표명 입니다 . 반도체공정 메인장비나 기타 장비의 열관리를 하는데 필요한 Coolants. 를 일컷는 단어들 입니다 . 의 종류에는 크게 3. 장점과 단점을 간단히 요약해 보았습니다. 보통은 증류수라고 부르고 ,. 물을 여러형태의 튜브나 관을 통해 일정온도로 유지 시키는 목적으로 사용합니다 . 물의 장점은 값이 쌉니다 . 단점은 영하의 온도에서는 사용이 불가능 합니다 . 쉽게 세균번식이 되며 ,. 물때가 생깁니다 따라서 주기적으로 장비를 멈추고 크리닝을 해주어야만 합니다 . 장점은 영하의 온도에서 사용이 가능합니다 . 물의 단점을 보완하기위한 제품입니다 . 온도에서는 사용이 불가 합니다. 단점은 액의 성질이 물보다 나쁩니다 . (. 역시 오래 사용하면 관에 부식이나 스케일이 생기며 ,. 여러 부작용이 생깁니다 . 이 액의 최대 장점은 비저항 입니다 10 15(. LCD, P...

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Fluoro Chemicals: 12월 2010

http://fluorochemical.blogspot.com/2010_12_01_archive.html

2010년 12월 29일 수요일. FC-3283, 갈덴용액, 브라인(Brine), Coolant. 모두 같은물질의 각각 다른 상표명 입니다 . 반도체공정 메인장비나 기타 장비의 열관리를 하는데 필요한 Coolants. 를 일컷는 단어들 입니다 . 의 종류에는 크게 3. 장점과 단점을 간단히 요약해 보았습니다. 보통은 증류수라고 부르고 ,. 물을 여러형태의 튜브나 관을 통해 일정온도로 유지 시키는 목적으로 사용합니다 . 물의 장점은 값이 쌉니다 . 단점은 영하의 온도에서는 사용이 불가능 합니다 . 쉽게 세균번식이 되며 ,. 물때가 생깁니다 따라서 주기적으로 장비를 멈추고 크리닝을 해주어야만 합니다 . 장점은 영하의 온도에서 사용이 가능합니다 . 물의 단점을 보완하기위한 제품입니다 . 온도에서는 사용이 불가 합니다. 단점은 액의 성질이 물보다 나쁩니다 . (. 역시 오래 사용하면 관에 부식이나 스케일이 생기며 ,. 여러 부작용이 생깁니다 . 이 액의 최대 장점은 비저항 입니다 10 15(. 의 고온암체...

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