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主要技术指标 可处理硅片尺寸 2 8英寸 外型形式 卧式1 4管结构 工作温度 200 1300 恒温区长度及精度 200mm 1100mm. 工作温度 300 1200 有效口径根据用户扩散片确定，可订制 恒温区长度 920mm-1350mm 可根据用户要求定制 温区精度 (静态闭管测试) 600 工作温度 1200 0.5 300 工作温度 600 1 单点温度稳定性(静态闭管测试) 600 工作温度 1200 0.5 /24h. 真空烧结炉主要应用于电力半导体器件,烧结,焊接等工艺 设备参数 管路数 1-3管 口径 Φ100mm -Φ350mm 用户自定义 工作方式 共用一套加热体，A、B、C管交替工作 工作温度 300-1000 恒温区400mm-1000mm 3 冷态真空度 5Χ10-4Pa 真空系统 机械泵 K300扩散泵 阀门 Φ30. 产品说明 优质加热丝 KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE 绝热材料 PMF T2 T3晶体纤维等 绝缘子 高纯刚玉 端口过渡环 氧化铝氧化锆等真空成型。 真空管式炉的使用注意事项 管式炉中的石英管工作环境 真空条件或者小于0.02MPa.
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