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压力传感器的发展历程
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发布时间 2009-08-30 浏览 1147. 以半导体传感器的发明为标志, 4结束语 随着硅、微机械加工技术、超大集成电路技术和材料制备与特性研究工作的进展.而半导体传感器的发展可以分为四个阶段[1]:. 史密斯(CS.Smith与1945发现了硅与锗的压阻效应[2],即当有外力作用于半导体材料时,其电阻将明显发生变化。 2技术发展阶段(1960-1970年):随着硅扩散技术的发展,技术人员在硅的001或(110晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成较薄的硅弹性膜片,称为硅杯[3]这种形式的硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点,实现了金属-硅共晶体,为商业化发展提供了可能。 3商业化集成加工阶段(1970-1980年):硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术,扩散硅传感器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主,发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术[4],主要有V形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法。 联系信箱 zhxsct@126.com 服务电话: 028-8408297...
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