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ポーラスチャックポーラスチャックとは主に半導体製造装置のダイシングソーに組み込まれている部品で、負圧を利用して薄いウェーハを非接触で保持・吸着します、高い平面性が求められ吉岡精工の得意とする技術です。
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porous, optical characterisation, electrochemical etching, nanostructuring
By ussing electrochemical etching as a nanostructuring technique. " by ussing electrochemical etching as a nanostructuring technique. ". Porous III-V Semiconductors: online book. Fabrication and optical characterisation of porous structures. By ussing electrochemical etching as a nanostructuring technique. 121 N-type macropores in Si. 122 P-type macropores in Si. 21 The basics of Solids and Solutions. 22 The Schottky Barrier. 23 Solid-electrolyte interface models. 251 Space Charge Layer in Semiconductors.
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